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2025年6月をもって、ENVAR Precision Co., Ltd.は正式にEVERGLOW Precision Co., Ltd.へ社名を変更いたしました.
Fine Matel Mask（FMM）
Fine Matel Mask（FMM）
FMM（ファインメタルマスク）は、OLEDディスプレイ製造プロセスにおける極めて重要な消耗部材です。OLEDパネルの蒸着工程では、FMMが赤・緑・青（R/G/B）各サブピクセルの位置合わせと解像度を高精度で制御します。FMMの開口寸法およびその精度は、OLEDパネルの歩留まりや画質に直接影響を与えます。
Everglow Precisionでは、独自開発の電鋳Ni-Fe合金技術を用いた加飾型電鋳プロセス（アディティブ方式）により、FMMを製造しています。従来の化学エッチング方式と比較して、本プロセスは寸法精度・均一性に優れており、より高性能なOLED製造を実現可能にします。
電鋳FMM：主な特長と利点
電鋳FMM：主な特長と利点
- 低熱膨張係数（CTE）
製品がマイクロスケール領域に進化する中で、熱膨張係数（CTE）はプロセス安定性における極めて重要な要素となっています。Everglow Precisionは、OLED蒸着温度域においてアニール（焼鈍）処理なしでCTE 4〜5 ppm/°Cを実現する、業界唯一の電鋳Ni-Fe合金を開発しました。
この優れた材料特性により、本合金はガラス基板とフレキシブル基板の両方に対応可能であり、蒸着プロセスにおける寸法安定性と信頼性を大きく向上させます。
- 薄型プロファイルと高耐久性
Everglow Precisionは、**厚さ10〜25μmのファインメタルマスク（FMM）**を量産可能であり、次世代の高解像度OLEDパネルに最適な仕様を実現しています。
OLED製造が第8.6世代以降の大型基板ラインへと進化する中で、より薄型のFMMは重力によるたわみ（変形）を抑制し、大型フォーマットでの歩留まり向上に大きく貢献します。
- 寸法安定性
電鋳製FMM（ファインメタルマスク）は、化学エッチング方式で製造されたマスクに比べて、寸法安定性と均一性に優れています。さらに、基板側の開口部にはシャドーゾーン（影領域）が存在しないため、蒸着プロセス中の色混合やにじみを大幅に低減することが可能です
- 優れた弾性係数
K値（弾性係数）は、FMMの張力調整時における変形挙動を評価する上で重要な指標です。Everglowの電鋳FMMは、圧延インバー材に匹敵する引張変形特性を示し、最新のOLED量産ラインが求める高精度な張力制御要件を満たしています。
- 低内部応力
Everglow Precisionの電鋳FMMは、内部応力が非常に低く、張力適用前後においても優れた平坦性を維持します。これにより、パネルアライメント時や量産工程において、高い安定性と再現性が確保されます。
- 優れた磁気透過性
OLEDの蒸着工程では、上部電磁石を用いてFMMと基板を高精度かつ密着に位置合わせすることで、均一な膜形成が行われます。これにより、有機材料の層間堆積や欠陥の発生を防止します。
Everglow Precisionの電鋳FMMは、生産ラインの要件を満たす優れた磁気透過性（透磁率）を備えており、蒸着プロセス中において安定かつ信頼性の高い性能を発揮します。
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